近期，“2023年度中國檢驗檢測學(xué)會科學(xué)技術(shù)獎”獲獎名單公布，北京萊伯泰科儀器股份有限公司（簡稱“萊伯泰科”）憑借其《硅片表面金屬離子國產(chǎn)檢測儀器首創(chuàng)項目》榮獲科學(xué)技術(shù)進步獎二等獎。

該獎項由中國檢驗檢測學(xué)會設(shè)立，旨在表彰那些在檢驗檢測科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域或相關(guān)領(lǐng)域，通過技術(shù)發(fā)明、科技進步、國際科技合作等活動，對推動檢驗檢測科學(xué)發(fā)展做出顯著貢獻的組織和個人。

萊伯泰科于2021年5月和2023年3月分別推出了自主研發(fā)的LabMS 3000電感耦合等離子體質(zhì)譜儀和LabMS 5000電感耦合等離子體串聯(lián)質(zhì)譜儀，其技術(shù)成熟度與產(chǎn)品可靠性已經(jīng)滿足國內(nèi)集成電路制造企業(yè)對28nm以上制程硅片表面金屬離子檢測的需求，并已成功應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造企業(yè)，在半導(dǎo)體行業(yè)有了巨大突破。

萊伯泰科此次獲獎的《硅片表面金屬離子國產(chǎn)檢測儀器首創(chuàng)項目》成功解決了國產(chǎn)儀器在此領(lǐng)域的技術(shù)空白，有望打破國外技術(shù)的長期壟斷。該項目依托先進的ICP離子源技術(shù)、加強的離子傳輸系統(tǒng)和基于CAN總線的電控系統(tǒng)，實現(xiàn)了儀器的高效穩(wěn)定運行及精準檢測，滿足了半導(dǎo)體硅片行業(yè)對極低檢出限的嚴苛要求。

憑借在電感耦合等離子體質(zhì)譜技術(shù)領(lǐng)域的豐富創(chuàng)新經(jīng)驗，萊伯泰科一直致力于為半導(dǎo)體行業(yè)提供更加精準、高效的解決方案。今天的榮譽標志著萊伯泰科在科技創(chuàng)新道路上達到了新的里程碑。未來，萊伯泰科將繼續(xù)專注于高端科研設(shè)備的研發(fā)，努力推動科學(xué)儀器技術(shù)的持續(xù)進步，為行業(yè)的發(fā)展貢獻自己的智慧和力量。

電感耦合等離子體質(zhì)譜儀LabMS 3000 ICP-MS

l   強大：集成型高基質(zhì)進樣系統(tǒng)，支持在線氬氣稀釋和有機樣品加氧除碳，從而減少樣品前處理時間并避免此過程中引入的各種污染

l    精準：新一代碰撞反應(yīng)池技術(shù)，消除棘手的多原子離子和雙電荷離子干擾，提升數(shù)據(jù)質(zhì)量

l   安全：具有多重安全防控以及定時維護日志，確保儀器在安全、可靠的狀態(tài)下運行，盡量減少計劃外的停機和提供安全保護

l   智能：HiMass智能工作站，中英文語言實時切換，支持接入實驗室管理系統(tǒng)和定制報告模版，向?qū)皆O(shè)計更符合中國人操作習(xí)慣

l      高效：與LabTech前處理設(shè)備無縫銜接實現(xiàn)一站式元素分析解決方案，使元素分析更高效、更準確、更安全

LabMS 5000 電感耦合等離子體串聯(lián)質(zhì)譜儀（ICP-MS/MS）

l    精準：MS/MS模式實現(xiàn)受控且可靠的干擾去除，精準去除質(zhì)量干擾離子，從而獲得更低的檢測限和準確的超痕量分析結(jié)果。

l    穩(wěn)定：采用工業(yè)標準27.12MHz 全固態(tài)RF發(fā)生器，具有高穩(wěn)定性及可靠性；優(yōu)異的離子傳輸系統(tǒng)設(shè)計即使在MS/MS模式下也具有良好的檢測穩(wěn)定性。

l    可靠：通過 SEMI S2 認證，多達十重安全防護配置，帶來全面可靠的安全防護，保證儀器長時間安全可靠運行。

l   強大：全基體進樣系統(tǒng)結(jié)合接口設(shè)計及加強離子傳輸系統(tǒng)，帶來強大的基體耐受性，即使高基體直接進樣也可有效降低信號漂移。

l    易用：HiMass智能工作站，一鍵式，向?qū)?、模塊化設(shè)計，界面簡潔直觀，易學(xué)易用，提高工作效率。